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相較于傳統(tǒng)臺(tái)式掃描電鏡，EM-30設(shè)備在成像性能、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、適配性等多個(gè)維度完成升級(jí)，兼顧高精度檢測(cè)能力與輕量化使用優(yōu)勢(shì)，有效平衡了設(shè)備性能與使用成本，適配各類常規(guī)實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)場(chǎng)景。
在成像性能上，設(shè)備突破傳統(tǒng)臺(tái)式電鏡的成像局限，依托雙聚光鏡成像技術(shù)與二次電子探測(cè)單元，實(shí)現(xiàn)5nm超高分辨率成像，高倍成像清晰穩(wěn)定。同時(shí)配備大尺寸樣品倉，搭配多維度全自動(dòng)馬達(dá)樣品臺(tái)，可完成多角度、大范圍樣品觀測(cè)，樣品適配性更強(qiáng)。設(shè)備加速電壓范圍廣，可根據(jù)樣品特性靈活調(diào)整檢測(cè)參數(shù)，適配不同樣品的微觀形貌檢測(cè)需求。
在使用體驗(yàn)上，設(shè)備整體結(jié)構(gòu)小巧，外形尺寸僅400mm×600mm×550mm，占用空間小，且對(duì)使用環(huán)境要求較低，無需嚴(yán)苛的實(shí)驗(yàn)室配套條件，可靈活部署于各類常規(guī)實(shí)驗(yàn)室。設(shè)備搭載全新智能化操作軟件，支持燈絲、聚焦、亮度、對(duì)比度全自動(dòng)調(diào)節(jié)，同時(shí)配備導(dǎo)航模式、駕駛模式、線輪廓等特色功能，降低人工操作門檻。此外，設(shè)備拓展性強(qiáng)，可按需選配EDS、冷臺(tái)等附件，可在形貌觀測(cè)基礎(chǔ)上拓展更多檢測(cè)功能，提升設(shè)備的綜合使用價(jià)值。
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